超纯材料（如高纯半导体、特种合金、先进陶瓷等）的杂质分析，面临浓度极低（常低于ppm级）且缺乏可靠基体匹配标样的核心挑战。我们采用飞秒激光剥蚀ICP-MS（fsLA-ICPMS）结合自主开发的“固体标加法”，完美应对这一难题。该方法原理是：将已知浓度的固体标准物质，以精确控制的比例，直接与待测超纯样品粉末均匀混合或叠加制备成校准系列。在此过程中，确保每个校准点及样品点的总激光剥蚀量一致，从而建立一条基质效应最小化的校准曲线。这项技术的优势在于，其校准标准与待测样品同为固体，物理与化学性质高度一致，彻底消除了传统液体校准法带来的基质不匹配误差。最终，我们能够在最贴近真实分析条件的情况下，实现从ppb到亚ppb水平的痕量及超痕量杂质元素的精准定位与定量，为超纯材料的质量控制、工艺改进及失效分析提供至关重要的数据支撑。